大尺寸芯片挑拣,,,,,,,挑拣晶粒边长0.2mm~15.5mm
兼容8寸、12寸Disc0铁环规格的来料晶圆检测分选
对分选晶粒举行正面、背面以及4个侧面的AOI检测
基于深度学习的缺陷检测+古板算法辅助,,,,,,,参数可自由设定卡控
排列精度高且稳固,,,,,,,X、Y排列误差STD可到5以内,,,,,,,XY精度误差≤20μm,,,,,,,角度误差≤1°
效率高,,,,,,,一连挑拣CT<200ms(产品尺寸3*3mm)
挑拣乐成率≥99.99%(去除外观不良)
最佳Map挑拣规则,,,,,,,兼顾产能与抓取准确性,,,,,,,降低Wrong Sort危害
固晶位置误差自动补正
全自动Wafer/Bin片上下料
可实现不破膜取料,,,,,,,降低产品损伤率
高无尘品级要求Class 10
支持定制化软件开发